Як правильно контролювати температуру пластини у сучасному заводі з виробництва чипів
Якщо ви будуєте сучасний завод з виробництва чипів, ви, ймовірно, усвідомлюєте, що очікувати, поки щось зламається, перш ніж це полагодити, – це справжній кошмар. Потрібно бачити, що відбувається саме зараз. Саме тут на допомогу приходять інфрачервоні системи. Ми використовуємо їх тому, що вони дозволяють визначати розподіл тепла на поверхні пластини без необхідності фізичного контакту з нею. Жодного контакту, жодного забруднення. Просто.
Чому безконтактний метод насправді важливий
Уявіть собі старий спосіб – використання термопар. Вони повинні контактувати з поверхнею, що призводить до проблем. Існує ризик механічних пошкоджень чи навіть падіння частинок на поверхню пластини.
За допомогою інфрачервоної пірометрії ми можемо „спостерігати“ за тепловим випромінюванням, яке виходить від пластини. Це значно простіше. Ці датчики передають сигнали безпосередньо до вашої системи PLC чи SCADA. Таким чином ви отримуєте актуальну карту температур. Це єдиний ефективний спосіб виявлення „холодних точок“ під час швидкого термічного обробку.
Як зробити дані корисними
Сам датчик – це лише пристрій. Справжня магія полягає у тому, як його під’єднати до системи обробки даних.
Ми розробляємо ці інфрачервоні системи так, щоб вони були стійкими до різних умов. Ми знаємо, що у середовищі, де використовуються засоби для обробки поверхні, існує багато електромагнітних перешкод, які можуть пошкодити сигнали. Але коли теплова енергія перетворюється на цифрові дані, можна створити систему зворотного зв’язку, яка буде ефективно функціонувати. Якщо температура змінюється навіть на 2°C, система це помічає та негайно коригує параметри живлення. Вам навіть не потрібно нічого робити.
Реальність
Але все не є ідеальним. Існують певні компроміси.
Інфрачервоні датчики чутливі до значень емісії. Якщо зміниться покриття пластини чи газ у камері почне рухатися, значення вимірювань будуть менш точними. Доведеться приділити час на налаштування програмного забезпечення, інакше ви будете отримувати некоректні дані.
Ще одна річ: необхідно підтримувати чистоту вікон датчика. Якщо на кварцовому порту з’являється бруд, сигнал буде блоковано. Тоді тепловий профіль стане некоректним, і доведеться починати все значно заново. Якщо скло залишатиметься чистим, все буде гаразд.