Чому ми відмовляємося від звичайних печей на користь систем обробки за допомогою інфрачервоного випромінювання
Протягом довгого часу для сушіння та обробки напівпровідників використовувалися величезні конвективні печі. Але це поступово змінюється. Більшість з нас тепер використовують системи інфрачервоного випромінювання. Це пов’язано не лише з необхідністю дотримання екологічних стандартів чи правил щодо використання матеріалів без свинцю – але й тому, що старий спосіб є досить марнотратним.
Справа у тому, що інфрачервоне випромінювання не нагріває всій повітря в кімнаті. Воно просто передає енергію безпосередньо на поверхню матеріалу.
Чудо прямого нагрівання
Уявіть собі звичайну піч – потрібно довго нагрівати всю камеру лише для того, щоб нагріти кілька пластин. Це марна трата енергії.
За допомогою ламп інфрачервоного випромінювання використовується електромагнітне випромінювання, яке спрямовується безпосередньо на потрібну поверхню. Таким чином, досягається бажана температура за кілька секунд. Не хвилин.
Це значно скорочує витрати на енергію та забезпечує чисте середовище. Немає залишків від процесу горіння, жодних шкідливих речовин. Це ідеально підходить для сучасних підприємств, які потребують чистих та безсвинцевих умов.
Все залежить від конструкції
Не можна просто покласти лампи в картонну коробку та вважати, що все готово. Якщо ви працюєте в чистій кімнаті, то саме конструкція пристрою є ключовою.
Для корпусів нагрівачів ми використовуємо високоякісну нержавіючу сталь. Їх потрібно виготовляти з великою точністю. Чому? Тому що якщо конструкція буде неточною, можуть виникнути проблеми з розподілом температури. Одна-єдина частинка пилу у неправильному місці може зіпсувати цілу партію напівпровідників.
Для нагрівання ми зазвичай використовуємо кварцово-галогенні лампи. Вони ефективні, компактні та можуть швидко досягати потрібної температури.
Проблеми
Інфрачервоне випромінювання є ефективним, але воно може бути непостійним у своїй дії. Якщо геометрія відбивача буде неправильною, можуть виникнути „гарячі точки“. Не можна просто „скласти все разом“. Потрібно приділити час на налаштування відстані та кута, щоб тепло рівномірно розподілялося по поверхні пластини.
Якщо щось піде не так, пластина може деформуватися чи оброблюватися нерівномірно. Це створює проблеми. Тож ми використовуємо чітку систему керування за допомогою ПІД-контролю. Потрібно бути обережними, щоб не перегріти матеріал.