На заводі з виробництва пластинок навіть незначна зміна температури у розмірі 0,1°C може призвести до зміни критичних розмірів пластинки на кілька нанометрів – що, у свою чергу, призводить до збільшення кількості частинок на поверхні пластинки. Звичайні нагрівальні пристрої та конвективні печі не можуть забезпечити стабільну температуру під час процесу сушіння, що призводить до проблем з випаровуванням речовин чи пошкодження поверхні пластинки. Саме тому і був створений сушар для пластинок у діапазоні близького інфрачервоного спектру – щоб подолати ці проблеми.
Що є важливим з технічної точки зору: Система NIR нагріває саму пластинку, а не всю камеру. Це забезпечує стабільну температуру на всій поверхні пластинки в межах ±0,1°C на довжині 300 мм, швидку реакцію системи та можливість точного контролю температурного режиму. Профілі фотополімеру залишаються стабільними між партіями продукції, а параметри сушіння також залишаються стабільними навіть при зміні об’єму партій. Система розроблена для використання в чистих приміщеннях класу 1–100; при цьому не виникає жодних забруднень на місці контакту пластинки з пристроєм, а система відведення газів запобігає потраплянню забруднень у зону обробки. Надійність системи оцінюється за тривалістю роботи – 24/7 без неспланованих зупинок, а термін служби нагрівальних елементів значно перевищує звичайний квартальний цикл заміни.
Ось чому ця система підходить для використання в процесі літографії: Необхідний стабільний процес сушіння для ефективного видалення розчинника та точне контролювання температури під час сушіння, щоб уникнути зміни форми пластинки. Система NIR забезпечує саме таку стабільність, швидке нагрівання, короткі часи обробки та менше споживання енергії на одну пластинку. Це дозволяє зменшити кількість повторних операцій, краще контролювати розміри пластинки та зменшити кількість відходів, спричинених нерівномірністю температури. Крім того, ця система підходить для використання на сучасних технологічних процесах, де температурні параметри є дуже важливими.
Кілька практичних порад перед тим, як вибрати цю систему: Система NIR потребує прямого видимого зв’язку з пластинкою та контрольованого відбиття світла; тому під час інтеграції необхідно враховувати геометрію обробки пластинки – особливо якщо використовуються спеціальні контейнери для пластинок, які можуть заважати проходженню світла. Також необхідна чиста електроенергія з контрольованими коливаннями напруги для забезпечення стабільності спектру світла. Як тільки ці умови будуть дотримані, сушар буде функціонувати без проблем. Але не можна пропускати цей етап підготовки.