Neden fırınları bırakıp infrared yöntemini kullanıyoruz?
Uzun süre boyunca, yarı iletkenlerin kurutulması ve sertleştirilmesi için devasa konveksiyon fırınları kullanılıyordu. Ancak bu durum değişiyor. Şimdi çoğumuz infrared sistemlerini tercih ediyoruz. Bu, sadece “yeşil” standartlara veya kurşunsuz üretim kurallarına uymaktan kaynaklanmıyor; eski yöntemin oldukça israfçı olduğu içindir.
İnfrared yönteminde odadaki tüm havayı ısıtmaya gerek yoktur. Enerji doğrudan yarı iletken malzemeye yönlendirilir.
Doğrudan ısıtmanın avantajları
Geleneksel fırınları düşünün: Birkaç wafer’ı ısıtmak için tüm fırını uzun süre ısıtmak zorundasınız. Bu da enerji israfı demektir.
İnfrared lambalarla ise elektromanyetik radyasyon kullanılır. Bu sayede enerji, işlem yapılan yüzeye doğrudan yönlendirilir. Böylece hedeflenen sıcaklıklara saniyeler içinde ulaşılır. Dakikalar değil…
Bu sayede enerji masrafları azalır ve hava temiz kalır. Yanma sonucu oluşan artıklar veya zararlı VOC’ler olmaz. Bu da modern fabrikaların ihtiyaç duyduğu temiz ve kurşunsuz ortamı sağlar.
Kaliteli yapı önemli
Sadece bazı lambaları bir karton kutuya koyup işin bittiğini sanamazsınız. Eğer temiz oda koşullarında çalışıyorsanız, gerçek iş burada başlar.
Isıtıcıların yapımında yüksek kaliteli paslanmaz çelik kullanılır. Bunların hassas bir şekilde üretilmesi gerekir. Neden mi? Çünkü eğer üretim hatası olursa, gaz salınımı veya küçük parçacıklar ortama karışabilir. Yanlış yerde bir toz parçası bile tüm silikon ürünün bozulmasına neden olabilir.
Isıtma için genellikle kuvars-halojen lambalar kullanılır. Bunlar güçlüdür, küçüktür ve neredeyse anında ısınır.
Zorluklar
İnfraruj yöntemi hızlı olsa da, bazen sorunlar ortaya çıkabilir. Eğer yansıtıcıların konumu biraz yanlış olursa, sıcak noktalar oluşur. Sadece lambaları bir araya getirmek yeterli değildir; ısının wafer üzerine eşit şekilde dağılması için mesafe ve açının ayarlanması gerekir. Eğer doğru ayar yapılmazsa, wafer deform olur veya düzgün şekilde sertleşmez. Bu yüzden kontrol sistemlerinde hassas PID ayarlarına ihtiyaç vardır. Sıcaklık kontrolünü iyi yapmak gerekir; aksi takdirde yarı iletken malzeme zarar görebilir.