บนพื้นที่ผลิต SRD cycle คือจุดที่กำหนดผลผลิต—หรือที่ซึ่งผลผลิตค่อยๆ สูญเสียไปอย่างเงียบเชียบ การล้างที่ทิ้งหยดน้ำจิ๋ว หรือการอบแห้งที่ทำให้เกิดความเครียดในแผ่นเวเฟอร์ จะกลายเป็นตำหนิและเศษเสีย หลอดอินฟราเรดใน Spin Rinse Dryer ของคุณไม่ได้ให้แค่ความร้อนเท่านั้น แต่เป็นอุปกรณ์กระตุ้นความร้อนที่กำหนดขอบเขตการอบแห้ง หากกำลังขับเคลื่อนเปลี่ยนแปลง หรือความสม่ำเสมอเสียหาย ความสามารถในการทำซ้ำที่คุณพึ่งพาในกระบวนการลิโทกราฟีและการเคลือบโฟโต้เรซิสต์ก็จะหายไปด้วย
นี่คือสิ่งที่เราสร้างหลอดอินฟราเรดสำหรับ SRD ขึ้นมา: ตัวปล่อยคลื่นสั้น NIR ในเปลือกควอตซ์ที่ตอบสนองรวดเร็ว ปรับจูนเพื่อให้เกิดความร้อนเพิ่มอย่างรวดเร็วและควบคุมสภาพนิ่งอย่างเข้มงวด คุณจะได้ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิระดับเวเฟอร์ภายใน ±0.1°C ตลอดช่วงอบแห้ง และการฟื้นตัวหลังการล้างที่ต่ำกว่าหนึ่งวินาที ชุดประกอบนี้ได้รับการจัดอันดับสำหรับการใช้งานในห้องสะอาดระดับ Class 1–100 โดยใช้วัสดุที่ปล่อยก๊าซต่ำและออกแบบรูปร่างเพื่อลดการปล่อยอนุภาค กำลังขับยังคงอยู่ในช่วง 1% ตลอดกว่า 5,000 ชั่วโมง และโปรไฟล์สเปกตรัมถูกจับคู่กับการดูดซับของน้ำและฟิล์มผิวหน้า—ดังนั้นพลังงานจะถูกใช้ไปกับการระเหย ไม่ใช่การทำความร้อนแผ่นเวเฟอร์
ใน SRD หลอดต้องส่งมอบความร้อนที่ทำซ้ำได้โดยไม่รบกวนไดนามิกการหมุนหรือเคมีล้าง โปรไฟล์ของเรารักษาเวเฟอร์ให้อยู่ภายในงบประมาณความร้อนที่ป้องกันการไหลย้อนของโฟโต้เรซิสต์หรือการยุบของแพตเทิร์น ในขณะเดียวกันก็ช่วยทำความสะอาดคราบล้างอย่างรวดเร็วและหมดจด ผลลัพธ์คือจำนวนล็อตที่ต้องแก้ไขลดลง การควบคุมมิติที่สำคัญมั่นคง และเวลาวงจรที่คุณสามารถวางแผนได้ การใช้พลังงานลดลงเพราะหลอดถึงค่าเซ็ตพอยต์อย่างรวดเร็วและรักษาไว้โดยไม่เกิดการเกินเป้า และอายุการใช้งานของตัวปล่อยที่ยาวนานช่วยลดช่วงเวลาบำรุงรักษาและสต็อกอะไหล่
ประสิทธิภาพของหลอดเกี่ยวข้องโดยตรงกับรูปร่างของห้อง SRD และความเร็วการหมุน เราจับคู่รูปแบบโฟกัสของหลอดกับเส้นทางเวเฟอร์ แต่ถ้าคุณติดตั้งในเครื่อง SRD แบบเก่า อาจต้องปรับเปลี่ยนเล็กน้อยที่ออปติกหรือแผ่นยึด วางแผนการติดตั้งโดยคำนึงถึงการไหลของอากาศในห้องสะอาดและภาระความร้อน—หลอดทำงานที่อุณหภูมิสูง และระบบระบายอากาศท้องถิ่นต้องมีขนาดพอเหมาะเพื่อรักษาอุณหภูมิห้องให้คงที่ เมื่อจัดตำแหน่งเรียบร้อยแล้ว คุณเพียงแต่ต้องตรวจสอบกำลังขับเป็นระยะเทียบกับไพรโรมิเตอร์ ไม่มีการสอบเทียบใหม่ แค่ใช้ข้อมูล