Перестаньте ждать, пока нагреются оборудования для нагрева: почему инфракрасное излучение лучше, чем использование принудительного воздушного потока в процессе обработки кристаллов
Если вы имели дело с глубокой обработкой полупроводников, вы знаете, насколько раздражает необходимость ожидания. Большинство из нас привыкли к использованию принудительного воздушного потока: мы направляем горячий воздух на поверхность кристалла и надеемся на лучшее. Но проблема в том, что этот способ медленный. Нужно ждать, пока воздух нагреется, а затем ещё долго ждать, пока тепло проникнет в сам кристалл. Это похоже на ожидание, пока высохнет краска, в то время как время для производства продолжает идти.
Секрет заключается в отказе от использования воздуха как средства нагрева. С помощью инфракрасного излучения мы можем напрямую воздействовать на поверхность кристалла. Это происходит с скоростью света. Не нужно ждать, пока камера нагреется — достаточно просто включить устройство, и кристалл мгновенно поглощает энергию.
Для инженера это огромное преимущество. Если старое оборудование требует 10 минут для стабилизации температуры, то точная система инфракрасного нагрева может сделать это за секунды. Это значительная экономия времени.
Поддержание стабильности температуры
Конечно, скорость может быть опасной, если её нельзя контролировать. Никто не хочет, чтобы партия продукции была испорчена из-за резкого изменения температуры. Поэтому мы используем датчики инфракрасного излучения для постоянного контроля температуры. Система отслеживает температуру поверхности в реальном времени и корректирует мощность излучения. Это помогает поддерживать стабильную температуру. В этой работе даже небольшое изменение температуры в 5 градусов может разрушить всё, поэтому наличие такой системы является большим преимуществом.
Ещё одно преимущество — освобождение пространства. Не нужно использовать громоздкие вентиляторы и сложные системы вентиляции, которые занимают половину помещения.
Недостатки
Инфракрасное излучение имеет свои недостатки: оно имеет направленный характер. Горячий воздух окружает объект, как одеяло, но инфракрасное излучение действует только в линии видимости. Если кристалл имеет сложную форму или представляет собой набор кристаллов, возникают «холодные зоны». Необходимо тщательно планировать расположение ламп и угол наклона отражателей. Если все сделано неправильно, кристалл может деформироваться. Но если геометрия правильная, скорость работы делает все усилия оправданными.