Pare de transformar seu equipamento sofisticado em um forno!
A maioria dos elementos de aquecimento padrão é um pouco excessiva em termos de emissão de calor. Eles dispersam o calor em todas as direções – 360 graus de energia. Quando se trabalha com equipamentos de semicondutores de tamanho reduzido, isso é um problema. Todo esse calor extra acaba atingindo as paredes internas da máquina.
O resultado? Paredes muito quentes. Isso representa um risco para os operadores e também representa um grande desperdício de energia. Na verdade, você está apenas aquecendo a estrutura da máquina, quando o que realmente importa é o wafer.
A solução é bem simples: uso de luzes IR direcionais.
Pense nisso como trocar uma lâmpada comum por uma lanterna. Em vez de deixar o calor se espalhar por todo lugar, as lâmpadas IR direcionais utilizam revestimentos especiais para direcionar a energia exatamente para onde ela precisa ir.
A energia atinge o wafer ou o substrato, e fica lá. As paredes internas do equipamento não absorvem o calor extra, então o interior da máquina não fica mais quente demais.
Por que isso é importante na prática?
Ao escolher essas lâmpadas, o único fator importante é o “ângulo de emissão”. Um feixe mais concentrado significa menos radiação indesejada.
Para as pessoas que cuidam dos equipamentos ou colocam os wafers neles, isso é muito importante. Isso significa que eles não correm o risco de se queimar toda vez que abrem um painel. Além disso, os sistemas de refrigeração da fábrica podem finalmente descansar um pouco. Eles não precisam mais lutar contra um calor desnecessário nas paredes.
A desvantagem (pois sempre há uma…)
Veja bem, isso não é uma solução mágica. Ao concentrar tanto a energia, existe o risco de surgirem “pontos quentes”, caso tudo não esteja alinhado perfeitamente.
Os suportes da lâmpada precisam ser extremamente estáveis. Se a lâmpada se mover apenas alguns milímetros, é possível errar o alvo ou causar aquecimento desigual no wafer.
Meu conselho? Não pule a calibração após trocar a lâmpada. Leva um minuto, mas é melhor do que estragar todo um lote de wafers.