Stop met het omtoveren van je apparatuur in een oven. De meeste standaardverwarmingselementen geven te veel warmte af. Ze stralen warmte in alle richtingen uit – 360 graden. Wanneer je te maken hebt met een compacte semiconductorapparatuur, is dit een probleem. Al die overtollige warmte raakt de binnenmuren van de machine. Het resultaat? “Hete muren”. Dit vormt een veiligheidsrisico voor de operators en het is ook een grote verspilling van energie. In feite verhit je hierdoor het chassis van de machine, terwijl je juist alleen maar geïnteresseerd bent in de wafer zelf.
De oplossing is vrij simpel: gerichte IR-lichtbronnen. Stel je voor dat je van een gewone lamp overgaat op een zaklamp. In plaats van dat de warmte overal heen gaat, gebruiken gerichte IR-lampen reflecterende achtergronden of speciale coatings om de energie precies waar nodig te richten. De energie bereikt de wafer of het substraat en blijft daar. De binnenmuren van de apparatuur nemen geen overtollige warmte op, zodat het niet meer voelt alsof het een sauna is.
Waarom dit belangrijk is: Bij het kiezen van deze lampen is alleen de “emissiehoek” belangrijk. Een nauwkeuriger straal betekent minder overtollige straling. Voor de mensen die de apparatuur onderhouden of wafers laden, is dit enorm belangrijk. Ze lopen dan geen risico om zich te branden wanneer ze een paneel openen. Bovendien kunnen de koelsystemen van je faciliteit eindelijk even rusten. Ze hoeven dan niet meer te proberen de muren te koelen, terwijl die helemaal niet zo heet hoeven te zijn.
Het nadeel (want er is altijd wel een): Het is geen magisch oplossing. Als je de energie te sterk concentreert, kan er sprake zijn van “hot spots” als alles niet perfect wordt geplaatst. Je bevestigingspunten moeten dus stevig zijn. Als een lamp ook maar een paar millimeter verschuift, kan het gebeuren dat je het juiste gebied mist of dat de warmte ongelijkmatig over de wafer wordt verdeeld.
Mijn advies: Vergeet de kalibratiecontrole niet na het vervangen van een lamp. Het duurt maar een minuut, maar het voorkomt dat je een hele lading wafers beschadigt.