Di bilik pengeluaran, perubahan suhu sebanyak setengah darjah sahaja pun boleh merosakkan corak yang telah dibuat dengan teliti. Oleh itu, diperlukan haba yang konsisten dan tepat untuk memproses seluruh permukaan wafer tersebut. Kami menggunakan pelbagai jenis pemanas untuk tujuan ini, seperti pemanas jenis halogen, kuarsa, gelombang pendek, gelombang sederhana, serta pemanas berbahan karbon serat.
Apa yang penting dari segi teknikal
Kami merancang modul haba agar ia dapat memberikan suhu yang seragam di seluruh permukaan wafer. Kestabilan suhu sekitar ±0.1°C sangat penting semasa proses pemanggangan, supaya dimensi-dimensi kritikal tetap memenuhi spesifikasi yang ditetapkan. Emitter yang digunakan haruslah mampu menghasilkan haba dengan cepat, dengan kelewatan haba yang minimum, dan memiliki kadar emisi yang stabil walaupun selepas ribuan kitaran pemprosesan.
Keserasian dengan bilik bersih kelas 1–100 juga merupakan faktor penting. Sambungan yang tertutup rapat, bahan-bahan yang menghasilkan gas yang sedikit, serta permukaan yang bebas daripada zarah-zarah kecil merupakan ciri-ciri yang perlu dipenuhi. Spesifikasi tenaga, voltan, dimensi, dan jenis sambungan juga perlu disesuaikan agar sesuai dengan spesifikasi OEM, supaya proses integrasi menjadi lebih mudah.
Mengapa ia berkesan dalam pengeluaran
Proses litografi dan pemprosesan photoresist sangat bergantung pada kawalan suhu yang tepat. Keseragaman suhu yang tinggi akan mengurangkan kecacatan pada tepi wafer, mengurangkan keperluan untuk melakukan kerja-kerja pembetulan, serta memudahkan kawalan ketebalan garisan pada wafer. Hasilnya ialah kadar pengeluaran yang lebih tinggi dan kurangnya masalah semasa proses pengeluaran.
Penggunaan tenaga juga berkurangan kerana pemanas dapat mencapai suhu yang ditetapkan dengan cepat tanpa melebihi hadnya. Kebolehpercayaan pemanas ini juga tinggi, sehingga ia sesuai untuk digunakan 24/7. Dengan cara ini, masalah-masalah yang tidak dijangka dapat dikurangkan, dan stok alat ganti yang diperlukan juga dapat dikurangkan.
Apa yang perlu diambil kira
Adalah penting untuk memastikan antaramuka peralatan tersebut sesuai dengan spesifikasi OEM. Pola skru, blok terminal, dan jenis sensor semuanya perlu disesuaikan agar prestasi peralatan dapat mencapai tahap yang diharapkan. Sebelum memesan peralatan, pastikan anda mengetahui spesifikasi voltan, sistem penyejukan, dan sistem pembuangan gas yang diperlukan.
Beberapa konfigurasi berkuasa tinggi memerlukan penyesuaian semula profil PID untuk mengelakkan masalah yang timbul semasa proses pendedahan cahaya. Selepas pemasangan, lakukan ujian singkat untuk memastikan kurva pemanggangan berfungsi dengan baik, dan kadar zarah-zarah kecil dapat dikawal dengan tepat.