Mengapa kita meninggalkan penggunaan ketuhar konvensional untuk proses pengeringan dan penyembuhan bahan semikonduktor
Untuk waktu yang lama, proses pengeringan dan penyembuhan bahan semikonduktor dilakukan dengan menggunakan ketuhar konvensional yang besar. Namun keadaan ini sedang berubah. Kini, kebanyakan orang beralih kepada sistem inframerah (IR) untuk tujuan tersebut. Ini bukan hanya kerana keperluan alam sekitar atau peraturan yang melarang penggunaan bahan berbahaya – tetapi juga kerana cara lama tersebut sebenarnya sangat membazir tenaga.
Inframerah tidak memerlukan pemanasan udara di dalam bilik tersebut. Ia hanya menghantar tenaga terus ke permukaan bahan yang ingin diproses.
Kelebihan penggunaan cahaya inframerah
Bayangkan penggunaan ketuhar konvensional. Anda perlu memanaskan seluruh ruang ketuhar untuk memanaskan beberapa keping wafer sahaja. Ini merupakan pembaziran tenaga yang besar.
Dengan lampu inframerah, anda menggunakan radiasi elektromagnetik yang disasarkan secara tepat pada lapisan atau bahan pelekat yang digunakan. Dengan cara ini, suhu yang diinginkan dapat dicapai dalam masa beberapa saat sahaja.
Ini dapat mengurangkan kos tenaga dan menjaga kebersihan udara. Tiada sisa pembakaran, tiada bahan berbahaya. Cara ini sesuai dengan standard kebersihan yang diperlukan oleh fasiliti pembuatan semikonduktor moden.
Keperluan reka bentuk yang tepat
Anda tidak boleh sekadar meletakkan lampu tersebut di dalam kotak kadbod dan anggap saja sudah selesai. Jika anda bekerja di bilik bersih, reka bentuk komponen tersebut sangat penting. Kami menggunakan keluli tahan karat berkualiti tinggi untuk membuat komponen pemanas tersebut. Reka bentuknya harus sangat tepat. Mengapa? Kerana jika reka bentuknya tidak tepat, gas berbahaya atau zarah-zarah kecil akan terhasil, yang boleh merosakkan bahan semikonduktor.
Untuk mendapatkan haba yang mencukupi, kami biasanya menggunakan lampu kuarsa-halogen. Lampu ini berkuasa tinggi, berukuran kecil, dan dapat menghasilkan haba dengan cepat.
Cabaran yang perlu dihadapi
Walaupun inframerah sangat cepat, ia juga boleh menjadi tidak stabil. Jika geometri reflektor tidak tepat, akan timbul kawasan yang terlalu panas. Anda perlu menyesuaikan jarak dan sudut pancaran cahaya agar haba tersebar secara merata pada permukaan wafer. Jika tidak, wafer akan rosak akibat suhu yang tidak merata. Itulah sebabnya kami menggunakan sistem kawalan PID yang tepat untuk mengelakkan masalah ini. Anda perlu berhati-hati agar suhu tidak melampaui batas yang ditentukan, kerana itu akan merosakkan bahan semikonduktor tersebut.