Di lantai litografi, anda tahu bagaimana keadaannya. Ayunan kurang daripada 1°C semasa soft bake boleh secara senyap menyebabkan kesilapan lebar garisan yang hanya kelihatan semasa metrologi. Perubahan haba yang sama boleh menyebabkan pengeringan wafer menjadi masalah zarah dan kecacatan. Kami membina Lab-on-a-Chip Drying Heater untuk menghentikan perubahan itu dari awal.
Apa yang penting, secara teknikal
Platform ini bergantung pada inframerah gelombang pendek, dikendalikan oleh susunan pemancar kuarza-halogen. Pyrometri gelung tertutup memastikan keseragaman haba pada tahap wafer pada ±0.1°C di seluruh zon aktif. Kebolehulangan suhu dari batch ke batch mencapai ±0.2°C, jadi profil pembakaran photoresist anda kekal stabil.
Ia sedia untuk bilik bersih Kelas 1–100: permukaan ruang 316L stainless, bahan yang disahkan FM4910, dan plenum aliran udara laminar yang memastikan tiada penghasilan zarah sepanjang kitaran. Pemanas ini menyepadukan SECS/GEM dan beroperasi 24/7, dengan MTBF melebihi 10,000 jam serta hayat pemancar melebihi 5,000 jam.
Kenapa ia berfungsi di tempat yang penting
Unit ini khusus untuk langkah pengeringan lab-on-a-chip—selepas spin rinse, sebelum hard bake. Ia mengering tanpa merosakkan, tidak meninggalkan residu, dan mengekalkan profil photoresist yang telah ditetapkan semasa soft bake.
Ini bermakna pengulangan kerja berkurangan, dimensi kritikal stabil, dan hasil yang boleh dirancang. Penggunaan kuasa cukup rendah untuk dikesan pada talian utiliti, dan saiznya cukup padat untuk diletakkan bersebelahan dengan coaters dan alat trek.
Ini yang perlu dirancang
Anda memerlukan talian khusus 208–240 V, 16 A. Jisim terma rendah, tetapi pemanasan awal mencapai beban puncak tinggi. Ruang ini menyokong carrier standard 150 mm dan 200 mm; untuk 300 mm memerlukan kit penyesuai carrier.
Pemasangan di bilik bersih biasanya mengambil masa dua hari, dengan pengesahan saluran udara balik. Satu kompromi: jika anda meningkatkan kadar kenaikan setpoint melebihi 10°C/s, tambahkan tempoh kestabilan singkat untuk memastikan keseragaman berada dalam spesifikasi.