생체센서 제작에서 왜 핫에어 대신 적외선을 사용하는가? 생체센서를 제작할 때는 매우 섬세한 유기물층들을 다루게 됩니다. 이러한 물질들은 적절한 방식으로 경화되고 건조되어야 합니다. 오랫동안 표준적인 방법은 핫에어를 사용하는 것이었습니다. 하지만 솔직히 말해서, 그건...

웨이퍼 오염을 사전에 막는 방법 바이오센서 제조 과정에서 단 하나의 램프가 고장 나는 것도 문제지만, 그보다 더 심각한 것은 해당 챔버 내의 모든 웨이퍼들이 폐기물이 되어버리는 것입니다. 고부하 가열 과정에서 석영관은 열应력으로 인해 손상될 수 있습니다. 만약 관이...