Di fasilitas produksi, perubahan suhu selama proses pemanggangan fotoresist atau proses epitaksi bukan hanya berdampak negatif pada kecepatan produksi, tetapi juga mengurangi tingkat kelulusan produk yang dihasilkan. Kita membutuhkan panas yang diberikan tepat di tempat yang ditentukan oleh prosedur produksi, dari siklus ke siklus.
Yang Penting Secara Teknis
Lampu inframerah yang digunakan untuk proses epitaksi mampu menghasilkan energi yang cepat dan terarah, dengan kontrol yang sangat baik. Gelombang inframerah pendek dapat masuk secara efisien ke dalam lapisan tipis dan permukaan wafer, sehingga memberikan respons yang cepat dan proses pendinginan yang singkat. Di area yang disinari, keseragaman suhu di permukaan wafer tetap berada dalam kisaran ±0,1°C, dan tingkat repetibilitasnya tetap stabil meski proses berlangsung ribuan kali.
Bodi lampu ini dirancang untuk digunakan di lingkungan kelas 1–100, menggunakan bahan-bahan yang minim emisi gas, serta desain yang tidak menghasilkan partikel-partikel tertentu. Daya output lampu tetap stabil selama lebih dari 5.000 jam, dengan penurunan daya kurang dari 5%, sehingga anggaran energi yang digunakan tidak berubah.
Mengapa Ini Efektif
Kebutuhan akan panas yang konsisten ini muncul berulang-ulang dalam berbagai proses, seperti pengeringan wafer, pemanggangan fotoresist, proses pengerasan lapisan pelindung, dan pengeringan setelah proses pembersihan. Lampu-lampu ini mampu mencapai suhu yang ditentukan dengan cepat, mempertahankan suhu tersebut tanpa melebihi batas yang ditentukan, lalu berhenti secara tiba-tiba. Hal ini mengurangi tegangan termal pada pola dan lapisan-lapisan yang ada di wafer.
Hasilnya adalah peningkatan tingkat kelulusan produk dalam proses litografi, berkurangnya limbah akibat proses yang belum sempurna, serta waktu siklus yang lebih singkat tanpa mengganggu spesifikasi yang ditetapkan. Penggunaan energi pun berkurang, karena energi hanya dikirim sesuai kebutuhan, dengan minim kerugian energi yang terbuang.
Hal-Hal yang Perlu Diketahui
Lampu-lampu ini memiliki ukuran yang kompak namun dayanya tinggi, sehingga manajemen suhu di titik kontak antara lampu dan peralatan menjadi hal yang sangat penting. Pastikan bahwa bentuk lampu dan alasnya sesuai dengan dimensi peralatan yang digunakan, pastikan juga bahwa pencahayaannya tepat mengenai zona yang dituju, dan pastikan pasokan daya serta sistem pendinginannya sesuai dengan kebutuhan proses.
Harapkan adanya periode penstabilan setelah pemasangan. Setelah itu, proses produksi dapat berjalan lancar.