अपने हीटरों का इंतज़ार करना बंद करें: आईआर हीटिंग, हॉट एयर हीटिंग से बेहतर क्यों है?
मुझे अभी भी कई सेमीकंडक्टर निर्माण लाइनों में हॉट एयर हीटिंग का उपयोग होता हुआ दिख रहा है। यह तो पुराना तरीका है… और वास्तव में, यह बहुत ही धीमा तरीका है।
वास्तविक समस्या तो इंतज़ार करना ही है… हवा तो गर्मी को स्थानांतरित करने में बिल्कुल भी असमर्थ है। आपको कई मिनट तक इंतज़ार करना पड़ता है, ताकि सब्सट्रेट का तापमान सही हो जाए… क्योंकि आप तो पूरे कमरे को गर्म करने की कोशिश कर रहे हैं… यह तो समय का बर्बादी है।
गति बढ़ाने का आसान तरीका
इन्फ्रारेड (IR) हीटिंग इस समस्या का समाधान है… इन्फ्रारेड ऊर्जा सीधे ही सामग्री में पहुँच जाती है… यह तो कमरे के गर्म होने का इंतज़ार करने के बजाय, सीधे धूप की किरणों के समान ही है।
ऐसे में आपको मिनटों के बजाय सेकंडों में ही गर्मी प्राप्त हो जाती है… जब आप बड़ी मात्रा में उत्पादन कर रहे होते हैं, तो यह बहुत ही फायदेमंद है… आप न केवल बिजली की लागत बचा सकते हैं, बल्कि अपना समय भी बचा सकते हैं।
अपने वायरों को पिघलने न दें
लेकिन ध्यान रखें… इन्फ्रारेड हीटर बहुत ही गर्म हो जाते हैं… इसलिए यदि आप सामान्य PVC या सिलिकॉन वाले वायरों का उपयोग करेंगे, तो आपको समस्याओं का सामना करना ही पड़ेगा… ऐसे वायर पिघल सकते हैं, या गैस उत्पन्न कर सकते हैं… जो कि क्लीनरूम में बिल्कुल भी अच्छा नहीं है… इसलिए हम Teflon (PTFE) लेपित वायरों का ही उपयोग करते हैं… ये वायर गर्मी को सहन कर सकते हैं… और एटचिंग/डिपोजिशन के दौरान उत्पन्न होने वाली रासायनिक गैसों से भी प्रभावित नहीं होते…
कुछ नुकसान
लेकिन इन्फ्रारेड हीटिंग भी कोई जादुई उपाय नहीं है… आप बस हीटर को बदलकर ही काम नहीं चला सकते…
चूँकि इन्फ्रारेड हीटिंग तो दृष्टि-रेखा के आधार पर ही काम करती है, इसलिए आपको अपने हीटरों को सही जगह पर ही रखना होगा… यदि आप गलत जगह पर हीटर रखेंगे, तो वेफर पर ठंडे स्थान बन जाएंगे… और चूँकि गर्मी बहुत तेज़ी से ही पहुँचती है, इसलिए यदि आप गर्मी की मात्रा को बहुत अधिक कर देंगे, तो थर्मल शॉक का खतरा भी है… इसलिए आपको एक अच्छा PID कंट्रोलर ही उपयोग करना होगा…
यदि आप कोई नई लाइन बनाने की योजना बना रहे हैं, तो इन्फ्रारेड हीटिंग ही सबसे अच्छा विकल्प है… यह थर्मल लैग की समस्या को दूर करता है… बस ध्यान रखें कि आप PTFE वाले वायरों का ही उपयोग करें… ताकि 6 महीने बाद आपको कोई समस्या न हो।