נורת חימום לאפיטקסיה באינפרא אדום

בחדר הייצור, סטייה תרמית במהלך תהליכי אפיית הפוטורזיסט או במהלך תהליכי אפיטקסיה פוגעת לא רק בקצב הייצור, אלא גם באיכות המוצר. יש צורך בחום שמופנה...