בקומת הליתוגרפיה, אתם יודעים איך זה עובד. סטייה של פחות מ-1°C במהלך אפיית ריכוך יכולה להדפיס בשקט טעות ברוחב קו שמתגלה רק במדידה המטולוגית. אותו סטייה תרמית יכולה להפוך את ייבוש הפלטות לבעיה של חלקיקים ופגמים. פיתחנו את Lab-on-a-Chip Drying Heater כדי לעצור את הסטייה הזו במקום שבו היא מתחילה.
מה שחשוב, מבחינה טכנית
הפלטפורמה מבוססת על אינפרא-אדום קצר-גל, המונע על ידי מערך פולטי קוורץ-הלוגן. מדידת טמפרטורה בלולאה סגורה שומרת על אחידות תרמית של ±0.1°C ברמת הפלטה לאורך אזור הפעולה. חזרות טמפרטורה בין אצוות עומדות על ±0.2°C, כך שפרופיל אפיית הפוטורזיסט נשמר קבוע.
המכשיר מוכן לסביבת חדר נקי בדרגות Class 1–100: משטחים מחדר מפלדת אל-חלד 316L, חומרים עם דירוג FM4910, ותא זרימת אוויר למינארית שמונעת יצירת חלקיקים במהלך המחזור. המחמם משתלב עם SECS/GEM ופועל 24/7, עם MTBF של מעל 10,000 שעות, וגיל פולטים המגיע ליותר מ-5,000 שעות.
למה זה עובד במקום שבו זה קריטי
היחידה מיועדת במדויק לשלב הייבוש של Lab-on-a-chip—מיד לאחר שטיפת הספין, לפני אפיית הקשייה הקשה. היא מייבשת ללא גרימת נזק, לא משאירה שאריות ושומרת על פרופיל הפוטורזיסט שהוגדר במהלך אפיית הריכוך.
זה מתורגם לפחות תיקונים חוזרים, שמירה על ממדים קריטיים יציבים ותפוקה שניתן לתכנן בהתאם. צריכת החשמל נמוכה מספיק כדי להופיע בקו החשמל, והשטח הפיזי דחוס מספיק כדי להתמקם לצד מכונות הציפוי וכלי מסלול.
מה כדאי לתכנן מראש
תצטרכו קו ייעודי של 208–240 V, 16 A. המסה התרמית נמוכה, אך ההתחממות מגיעה לעומס שיא גבוה. התא מתאים למובילים סטנדרטיים של 150 mm ו-200 mm; עבור 300 mm יש צורך בערכת מתאם למוביל.
התקנה בחדר נקי נמשכת בדרך כלל יומיים, עם בדיקת תעלות אוויר חזרתיות מאומתות. הפשרה אחת: אם מעלים את קצב עליית הטמפרטורה מעל 10°C/s, יש להוסיף השהיית ייצוב קצרה כדי לשמור על אחידות בתוך המפרט.