Hören Sie auf, Ihre Maschine zu heizen – heizen Sie stattdessen die Wafer direkt. Haben Sie schon einmal die Oberfläche eines Halbleiteraufarbeitungsraums berührt und dabei das Gefühl gehabt, als würde Ihre Haut verbrennen? Das ist das Phänomen der Überhitzung. Die meisten herkömmlichen Konvektionsheizer leiten einfach Wärme in die Luft ab – das bedeutet, dass Ihre teure Ausrüstung die Hälfte ihrer Zeit damit verbringt, Energie aufzunehmen, die sie eigentlich nicht benötigt. Das ist eine Verschwendung von Energie – außerdem wird dadurch das Chassis gefährlich heiß.
Wir haben eine bessere Lösung gefunden: Richtungsgesteuerte Infrarot-Heizlampen.
Wie es funktioniert
Stellen Sie sich das wie die Sonne vor. Herkömmliche Heizer versuchen, den ganzen Raum zu erwärmen – doch Infrarotlampen strahlen die Energie in gerader Linie aus. Die Energie wird erst dann zur Wärme, wenn sie tatsächlich das Ziel erreicht.
Wenn man die richtige Wellenlänge wählt – meist kurze oder mittlere Wellenlängen – geht die Energie einfach an den Wänden des Raumes vorbei und trifft direkt auf die Wafer.
Um Überhitzung zu vermeiden
Um sicherzustellen, dass die Wände nicht überhitzen, verwenden wir reflektierende Schutzmaßnahmen und achten genau darauf, wo die Lampen platziert werden. So bleibt die Wärme genau dort, wo sie hingehört: in der Arbeitszone.
Das Ergebnis? Eine geringere Wärmemenge im Raum. Ihre Mitarbeiter werden sich nicht die Hände verbrennen, und das Lüftungssystem muss nicht überlastet werden, um den Raum kühl zu halten.
Die Vor- und Nachteile
Infrarot-Heizung ist zwar keine magische Lösung. Da die Strahlung nur in gerader Linie wirkt, gibt es einen Nachteil: Schatten. Wenn zum Beispiel ein Halter oder ein Sensor im Weg steht, entstehen kühle Stellen auf dem Substrat. Man muss also sorgfältig planen, wie die Heizlampen angeordnet werden sollen, damit diese Lücken ausgeglichen werden.
Achten Sie auch auf den Energieverbrauch. Diese hochintensiven Lampen verbrauchen viel Strom. Stellen Sie sicher, dass Ihre Elektrik den maximalen Strombedarf bewältigen kann – sonst springen die Sicherungen ständig raus.
Vorteile der Richtungsgesteuerten Infrarot-Heizung
Der größte Vorteil dieser Technologie ist, dass man mit viel höheren Prozesstemperaturen arbeiten kann, ohne dass die gesamte Maschine zu einem riesigen Radiator wird. Dadurch wird auch die Sicherheitseinrichtung einfacher.
Ein weiterer Tipp: Infrarot-Heizung erreicht die gewünschten Temperaturen viel schneller als herkömmliche Widerstandsheizungen. Deshalb empfehle ich dringend die Verwendung von Thermoelementen mit schneller Reaktionszeit. So können Sie vermeiden, dass die Temperatur zu hoch wird und dadurch Chargen zerstört werden.