V prostředí výroby závisí výtěžnost často na teplotě. I změna teploty o půl stupně během zahřívání fotorezistu může způsobit chybu ve šířce linie, která přetrvá i po procesech leptání a nanášení materiálů. V systémech CSP na úrovni čipu řídí stejný termální rozpočet procesy zahřívání a tavení ledu. Potřebujeme tedy teplo, které se opakuje – cyklus za cyklem – aniž by došlo ke změně teplotního centra.
Zde jsou technické aspekty, které jsou důležité: Vyráběli jsme ohřívače pro systémy CSP na úrovni čipu s přesnou kontrolou teploty: stabilita teploty na úrovni ±0,1 °C a rovnoměrnost teploty po celém povrchu čipu. Ohřev je zajištěn pomocí krátkovlnných infračervených prvků a izolovaných ohřívacích zón. Systém je vhodný pro čisté prostory třídy 1–100, používá materiály s nízkou emisí plynů a udržuje komoru uzavřenou, aby počet částic zůstal konstantní. Nulová produkce částic není jen sloganem – je to cíl návrhu. Každá zóna je řízena v uzavřené smyčce, takže profily zahřívání odpovídají specifikacím, nikoli podmínkám místnosti.
Proč to v praxi funguje: Lze ho použít k sušení čipů, zahřívání fotorezistu, zahřívání obalových materiálů a sušení po čištění. V litografii umožňuje provádět procesy měkkého a tvrdého zahřívání s potřebnou reprodukovatelností, aby hodnoty CD a úhlu bočních stěn zůstaly v mezích specifikací. Při balení pomáhá s zahříváním obalových materiálů a přípravou ledu na tavení, bez rizika poškození struktur s nízkou permitivitou. Výsledkem je menší množství oprav, stabilní poměr vad a předvídatelné doby cyklů. Je efektivní, protože má malou hmotnost a rychlou odezvu. Doba provozu je zajištěna díky modulárním zónám a prvkům, které lze vyměnit v terénu.
Několik věcí, na které je potřeba si vědomo: Ohřívač je kompaktní a lze ho integrovat do standardních systémů, ale je nutné zajistit přesné zarovnání s rovinou čipu. Je potřeba vzít v úvahu submilimetrové přesnosti a ověřit termální rozpočet na okraji čipu – právě tam jsou marginy nejmenší. Práce pod dusíkem zlepšuje reprodukovatelnost u procesů citlivých na vlhkost a prodlužuje životnost prvků.