Přestaňte čekat na ohřívače: Proč je infračervené zahřívání lepší než horký vzduch
Stále vidím příliš mnoho výrobních linek na polovodiče, které spoléhají na cirkulaci horkého vzduchu. Je to starý způsob práce – upřímně řečeno, je to zbytečně pomalé.
Skutečný problém spočívá v čekání. Vzduch prostě špatně přenáší teplo. Musíte trávit minuty čekáním, dokud substrát nedosáhne správné teploty – v podstatě se snažíte ohřát celou místnost, než se součástka vůbec začne zahřívat. Je to plýtvání časem.
Rychlá alternativa
Infračervené zahřívání mění situaci. Místo toho, abyste manipulovali s vzduchem, emitory infračerveného záření vysílají energii přímo do materiálu. Je to jako rozdíl mezi čekáním, než se místnost vyhřeje, a vstupem do paprsků slunečního světla.
Místo minut čekání stačí sekundy. Pokud pracujete s velkými objemy, je to obrovská výhoda. Nejenže úsporíte náklady na elektřinu, ale také získáte zpět svůj čas.
Nenechte se připálit kabely
Potíž je v tom, že infračervené ohřívače dosahují velmi vysokých teplot – a to velmi rychle. Pokud použijete běžné kabely z PVC nebo silikonu, budete mít problémy. Ty se připálí nebo začnou uvolňovat plyny, což v čisté místnosti rozhodně nechcete. Proto používáme kabely potažené Teflonem (PTFE). Ten odolává vysokým teplotám bez problémů a nevadí mu ani drastické chemické plyny vznikající během procesů leptání nebo nanášení. Prostě funguje.
Kompromisy
Infračervené zahřívání není žádná kouzelná hůlka. Nemůžete prostě vyměnit ohřívač a být spokojeni. Jelikož infračervené zahřívání funguje pouze v přímé linii pohledu, musíte pečlivě zvolit místo umístění lamp. Pokud uděláte chybu, budete mít na waferu chladné místa. A protože teplo působí velmi rychle, hrozí riziko tepelného šoku, pokud budete příliš agresivní při zvyšování teploty. Potřebujete odolný kontrolér PID, aby se všechno drželo v mezích.
Pokud plánujete novou výrobní linku, infračervené zahřívání je skvělou volbou. Odstraní problém spojený s tepelným zpožděním. Ujistěte se však, že použijete kabely z PTFE, abyste po šesti měsících neměli problémy s spálenými kabely.