V provozu výroby může posun teploty o 0,1 °C na povrchu destičky způsobit změnu kritických rozměrů o několik nanometrů – což vede ke zvýšení počtu částic. Běžné ohřívače a konvekční pece mají potíže s udržením termální jednotnosti během procesů zahřívání, bez problémů spojených s uvolňováním plynů nebo vadami povrchu destičky. Právě proto byl vytvořen sušič destiček v blízkém infračerveném spektru – aby se tento problém vyřešil.
Co je technicky důležité:
Systém NIR zahřívá přímo destičku, nikoliv celou komoru. Díky tomu je dosažena termální jednotnost v rozmezí ±0,1 °C na ploše 300 mm, rychlá reakce systému a lepší kontrola nad teplotou. Profily fotorezistu zůstávají konzistentní mezi jednotlivými šaržemi, a profily zahřívání zůstávají stabilní i při změně velikosti šarží. Systém je navržen pro použití v prostorách třídy 1–100 – bez žádné generace částic v místě kontaktu a s uspořádáním výfuků, které zabrání proniknutí kontaminantů do procesní oblasti. Spolehlivost systému se měří dobou provozu – 24/7 bez plánovaných přestávek, a doba životnosti ohřívače přesahuje běžné čtvrtletní cykly výměny.
Proč to funguje v litografii:
Je potřeba konzistentní proces zahřívání, aby se správně odstranily rozpouštědla, a také předvídatelný proces zatvrzení fotorezistu, aby nedošlo k jeho přetavení. NIR poskytuje tuto konzistenci – rychlé ustálení teploty, kratší doby procesu a nižší spotřeba energie na jednu destičku. Výsledkem je lepší kontrola nad procesem, méně oprav a méně odpadu způsobeného termální nerovnoměrností. Tento systém se také hodí pro pokročilé technologie, kde jsou termální podmínky velmi citlivé a každý stupeň teploty má význam.
Několik praktických poznámek před volbou systému:
Systém NIR vyžaduje přímý výhled na destičku a kontrolovanou cestu pro odraz světla. Proto musí integrace vzít v úvahu geometrii manipulace s destičkou – zejména v případě vícevrstvých nádob, které mohou zastínit světlový paprsek. Je také potřeba čistá elektřina s kontrolovanými výkyvy napětí, aby byla zachována spektrální stabilita. Jakmile jsou tyto podmínky splněny, sušič funguje jako „set-and-forget“ řešení. Ale nezapomeňte na správné uspořádání zařízení – ten krok nelze přeskakovat.