লিথোগ্রাফি ফ্লোরে, আপনি জানেন কিভাবে এটি ঘটে। একটি সাব-1°C পরিবর্তন সফট বেকের সময় একটি লাইন-প্রস্থ ত্রুটি নিঃশব্দে মুদ্রণ করতে পারে যা শুধুমাত্র মেট্রোলজি সময় প্রদর্শিত হয়। একই তাপীয় পরিবর্তন ওয়েফার শুকানোর প্রক্রিয়াকে কণার এবং ত্রুটি সমস্যায় রূপান্তরিত করতে পারে। আমরা ল্যাব-অন-এ-চিপ ড্রাইং হিটারটি তৈরি করেছি যাতে সেই পরিবর্তন শুরু হওয়ার স্থানেই থামানো যায়।
প্রযুক্তিগতভাবে কি গুরুত্বপূর্ণ প্ল্যাটফর্মটি একটি কোয়ার্টজ-হ্যালোজেন এমিটার অ্যারে দ্বারা চালিত শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেডে নির্ভর করে। ক্লোজড-লুপ পাইরোমেট্রি ওয়েফার-স্তরের তাপীয় সমতার জন্য ±0.1°C বজায় রাখে সক্রিয় অঞ্চলের মধ্যে। ব্যাচ থেকে ব্যাচে তাপমাত্রার পুনরাবৃত্তি ±0.2°C এ থাকে, তাই আপনার ফটোরেজিস্ট বেক প্রোফাইল লক করা থাকে।
এটি ক্লিনরুমের জন্য প্রস্তুত ক্লাস 1–100: 316L স্টেইনলেস চেম্বার পৃষ্ঠ, FM4910 রেটেড উপকরণ, এবং একটি লামিনার এয়ারফ্লো প্লেনাম যা সাইকেল চলাকালীন কণার উৎপাদন শূন্যে রাখে। হিটারটি SECS/GEM এর সাথে সংহত করা হয়েছে এবং 24/7 কাজ করে, MTBF 10,000 ঘরের বেশি, 5,000 ঘরের বেশি এমিটার লাইফ দ্বারা সমর্থিত।
কেন এটি গুরুত্বপূর্ণ স্থানে কাজ করে এই ইউনিটটি ল্যাব-অন-এ-চিপ শুকানোর ধাপের জন্য সঠিকভাবে লক্ষ্য করা হয়েছে—স্পিন রিন্সের পরে, হার্ড বেকের আগে। এটি দাগ ছাড়াই শুকায়, কোন অবশিষ্টাংশ ছাড়ে না, এবং সফট বেকের সময় আপনি যে ফটোরেজিস্ট প্রোফাইল সেট করেছেন তা সংরক্ষণ করে।
এটি পুনরায় কাজের সংখ্যা কমাতে, স্থিতিশীল সমালোচনামূলক মাত্রা বজায় রাখতে এবং পরিকল্পনা করার মতো ফলন আনতে রূপান্তরিত হয়। পাওয়ার ড্র এত কম যে এটি ইউটিলিটি লাইনে প্রকাশিত হয়, এবং ফুটপ্রিন্ট এত সংকীর্ণ যে এটি কোটার এবং ট্র্যাক টুলের পাশে বসতে পারে।
এগুলোর জন্য কি পরিকল্পনা করতে হবে আপনার একটি নিবেদিত 208–240 V, 16 A লাইন দরকার। তাপীয় ভর কম, কিন্তু উষ্ণতা পৌঁছানোর সময় একটি উচ্চ শিখর লোডে পৌঁছায়। চেম্বারটি 150 মিমি এবং 200 মিমির স্ট্যান্ডার্ড ক্যারিয়ারগুলিকে পরিচালনা করে; 300 মিমির জন্য একটি ক্যারিয়ার অ্যাডাপ্টার কিট প্রয়োজন।
একটি ক্লিনরুমে ইনস্টলেশন সাধারণত দুই দিন সময় নেয়, নিশ্চিত করা বাতাসের ফিরে আসার ডাক্টিং সহ। একটি একমাত্র বাণিজ্যিক বিনিময়: যদি আপনি সেটপয়েন্ট র্যাম্প হার 10°C/s এর উপরে ঠেলে দেন, তবে একটি সংক্ষিপ্ত স্থিতিশীলতা অবস্থান যোগ করুন যাতে সমতা স্পেসের মধ্যে থাকে।